日本NOISEKEN分析微電（diàn）子器件靜電防護設（shè）計

　　微電子器（qì）件靜電防護設計方法是指電路設計者在設計過程中為（wéi）降低電子器件與設備防護靜電危害所應用的方法。電（diàn）路保護涉及到與抗靜電放電幹擾相關的很多因素，如過程變量、布局考慮、幾何形狀和空間、包裝、測試和（hé）容錯等（děng）。

　　保（bǎo）護網絡有時同保護裝置的其他部件都安裝在集成電路的表麵。這（zhè）種保（bǎo）護網絡通常旨在降低敏感節點上的電壓或電（diàn）流（liú）瞬變。不同的防護網絡已經用於保護各種敏感的電子器（qì）件。這些電路防護網絡為器件提（tí）供了防ESD危害的有效保護。

　　由（yóu）於防護電路提供（gòng）的保護受大電壓和小脈衝寬度（dù）的製約。超過這些極限的（de）ESD會使元（yuán）器件受到損壞，或（huò）者使防護電路本身受到損壞。這是因為（wéi），後（hòu）者通常也是由在一定程度上或多或少的敏感元器件組成的。防護電路的損壞能引起元器件性能退化（huà）或使ESDS元器件（jiàn）對後續ESD更加敏感。器件（jiàn）性能退（tuì）化可能（néng）是ESDS元器件速度特性的變化或漏電流的增加。當ESD電壓低於器件敏感（gǎn）度電壓時，防護電路的損傷（shāng）可能是（shì）不明顯的，但是多（duō）次ESD作用能使元器件或防護電路性能退化或引起失效。另外（wài），同一（yī）類（lèi）型的ESDS元器件的（de）敏感度因製造廠家的不同和同一製造廠家的批次不同而不同。同樣，防護電路的設計（jì）和有效性也因製造廠家的不同而有所變化。

　　在鋁金屬化層和擴散區之間的基礎層在決定輸入結構的ESD敏感度（dù）水平方麵起重要作用（yòng）。研究標明（míng），在瞬變電壓（yā）條（tiáo）件下對於金屬化層的失（shī）效來說，主要的參數是電流密度和電壓脈衝的周期。例如90°轉彎會引起轉角內非均勻的電流分布。因此在防護網絡中的金屬化層避免90°轉角是有益的（de）。由（yóu）於在氧化物（wù）台階處（chù）的金屬化層可能比其他位置上的更薄，因此（cǐ）在進行用於ESD防護網絡中的金屬化（huà）層的（de）線寬設計時，應注意考（kǎo）慮這些位置處金（jīn）屬化層厚度減小的影響。